[发明专利]氮化铬的高温高压制备方法

摘要

本发明的氮化铬的高温高压制备方法，属于半导体材料铬氮化物制备的技术领域。以三氯化铬、叠氮化钠以及用于降低反应速率的氯化钠为原料充分混合，冷压成圆柱状，装入压机的合成腔体；在压力为5GPa、温度为1700～2000℃的条件下保温保压15～60分钟，制得CrN和NaCl的混合块状产物；经碾碎研磨、水洗，干燥后得到高纯度的CrN粉末。本发明的方法不需要时刻监控反应腔的氧气和氮气浓度，不需要在高温下使用流通的氨气反应物。与传统制备方法相比大大缩短了制备时间，成本较低，反应可控，反应生成物清洗简单就得到高纯度的CrN；且属于新的反应机制。

主权项

1.一种氮化铬的高温高压的制备方法，使用压机进行合成；工艺过程有原料混合、冷压成型、组装、高温高压合成、冷却卸压，制得块状产物；所述冷压成型是按压机合成腔体大小将混合原料压成圆柱状；所述的组装，是将混合的原料装入盛放容器，再放入加热容器，并装入保温密封容器，再放入合成腔体中；所述的冷却卸压，是高温高压合成产物之后，停止通电加热使组装块自然冷却至常温，然后卸压；其特征在于，所述的原料混合，是将三氯化铬、叠氮化钠和氯化钠按摩尔比1:2:4～5进行混合；所述的高温高压合成，是在压力为5GPa、温度为1700～2000℃下保温保压15～60min；最后块状产物经过碾碎研磨、水洗，干燥后得到高纯度的CrN粉末。