[发明专利]具有改进的热稳定性的传感器有效
| 申请号： | 201610962928.7 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106885610B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | Y-F.王;S.E.贝克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/692 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;刘春元 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有改进的热稳定性的传感器。公开了包括加热器电阻器(112)和/或一个或多个传感器电阻器(114)的改进的传感器。在一些情况下，该加热器电阻器(112)可以被配置为具有零或者接近零的电阻温度系数(TCR)，而一个或多个传感器电阻器(114)可以被配置为具有非零的更高的TCR。在一些情况下，加热器电阻器(112)可以包括掺杂有第一浓度的掺杂剂(306)的多晶硅材料，并且该一个或多个感测元件可以包括掺杂有第二更高浓度的掺杂剂(306)的多晶硅材料。在一些情况下，该第一浓度的掺杂剂(306)可以被配置为提供具有零或接近零的电阻温度系数（TCR）的加热器电阻器(112)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 热稳定性 传感器 | ||
【主权项】：
一种用于感测沿着流向的流体的流量的流量感测管芯（100），所述流量感测管芯（100）包括：衬底（102），所述衬底（102）限定膜（106）；由所述膜（106）支承的加热器电阻器（112），其中所述加热器电阻器（112）包括掺杂有第一浓度的掺杂剂（306）的多晶硅材料；由所述膜（106）支承的一个或多个感测元件；其中所述一个或多个感测元件是包括所述多晶硅材料的感测电阻器，所述感测电阻器掺杂有第二浓度的掺杂剂（306）或不同的掺杂剂成分中的至少一种；其中所述加热器电阻器（112）具有在‑1000 ppm/℃至1000 ppm/℃范围内的电阻温度系数；其中所述一个或多个感测元件具有> 1000 ppm/℃的电阻温度系数。
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