[发明专利]带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置有效
| 申请号： | 201610958663.3 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN107017142A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 阿部智彦;小岛真一 | 申请（专利权）人： | 爱德万测试株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/07 | 分类号： | H01J37/07;H01J37/141;H01J37/317 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置、以及带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置。提供一种带电粒子束透镜装置，具备透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围透镜部的外周；透镜部的与支撑部相接的外周部分及支撑部的与透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着透镜部的外周流动的槽部。由此，能够提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 透镜 装置 曝光 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束透镜装置，其特征在于，包括：透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使所述带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围所述透镜部的外周；所述透镜部的与所述支撑部相接的外周部分及所述支撑部的与所述透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着所述透镜部的外周流动的槽部。
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