[发明专利]多头转向吸嘴装置

摘要

本发明公开了一种多头转向吸嘴装置，其包含一机架、多个吸嘴模块、一驱动模块及一移动模块，吸嘴模块设于机架，每一吸嘴模块包含一壳体及一设于壳体中的吸嘴组件，驱动模块及移动模块设于机架，吸嘴模块连接受控于驱动模块，移动模块可选择性地组接并排列吸嘴模块，多头转向吸嘴装置用于半导体检测设备，吸嘴组件能吸取半导体芯片，特定位置的吸嘴模块的吸嘴组件能被驱动升降，使每二相邻吸嘴模块所吸取的半导体芯片间形成高低差，驱动模块能驱动吸嘴组件转向，使吸嘴模块分别吸取的半导体芯片能依序进行检测，进而提高半导体芯片的检测效率。

主权项

1.一种多头转向吸嘴装置，其特征在于，该多头转向吸嘴装置包含：/n一机架，其界定有三维空间中相互垂直的X轴、Y轴及Z轴，该机架的底部具有一沿着X轴方向延伸的导轨部；/n多个吸嘴模块，其能够沿着X轴移动地依序设置于该机架的导轨部上，每一吸嘴模块包含一壳体、一转向件及一吸嘴组件，该壳体内部形成一Z轴向延伸的组设空间以及一抽气通道，该壳体的后方形成一组接部，该抽气通道自壳体外表面朝内延伸而连通该组设空间，该转向件设置于该壳体上方，该吸嘴组件能够沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，该吸嘴组件包含一吸气杆及一弹性件，该吸气杆能够沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，并位于该组设空间内，该吸气杆的顶端伸出壳体顶部且连接受控于该转向件，该吸气杆内有吸气通道且底端具有一吸嘴，且该吸气杆中段具有一分隔部，该分隔部气密地连接组设空间的侧壁，且将该组设空间区隔出一第一气密空间及一第二气密空间，该第一气密空间位于该第二气密空间的上方，所述抽气通道连通该第一气密空间，且该吸气杆的吸嘴通过吸气杆内的吸气通道连通该第一气密空间，该弹性件设置于该壳体内，并位于该第一气密空间，该弹性件向下推抵该吸气杆，所述吸嘴模块区分为多个第一吸嘴模块及多个第二吸嘴模块，所述第一吸嘴模块及所述第二吸嘴模块呈交替排列，每一第二吸嘴模块的壳体内还形成一进气通道，该进气通道连通该第二吸嘴模块的第二气密空间，且该吸气杆的分隔部位于该抽气通道及该进气通道之间；/n一驱动模块，其设置于该机架上，该驱动模块包含一驱动组件及一平移杆，该驱动组件设置于该机架的一端，该平移杆能够朝Y轴方向移动地设置于该机架的一侧，该平移杆连接受控于该驱动组件，所述吸嘴模块的转向件可滑移地连接受控于该平移杆，并控制所述吸气杆的转向；以及/n一移动模块，其设置于该机架上，并位于该导轨部后方，该移动模块包含一螺杆及一移动组件，该螺杆沿X轴方向枢设于该机架的导轨部后方，该移动组件能够沿X轴方向移动地螺设于该螺杆上，该移动组件包含一外壳及一定位部，该外壳可移动地螺设于该螺杆上，该定位部设置于该外壳内，且该定位部能够选择性组接于所述吸嘴模块的组接部。/n