[发明专利]多头转向吸嘴装置

说明书

本发明公开了一种多头转向吸嘴装置，其包含一机架、多个吸嘴模块、一驱动模块及一移动模块，吸嘴模块设于机架，每一吸嘴模块包含一壳体及一设于壳体中的吸嘴组件，驱动模块及移动模块设于机架，吸嘴模块连接受控于驱动模块，移动模块可选择性地组接并排列吸嘴模块，多头转向吸嘴装置用于半导体检测设备，吸嘴组件能吸取半导体芯片，特定位置的吸嘴模块的吸嘴组件能被驱动升降，使每二相邻吸嘴模块所吸取的半导体芯片间形成高低差，驱动模块能驱动吸嘴组件转向，使吸嘴模块分别吸取的半导体芯片能依序进行检测，进而提高半导体芯片的检测效率。

技术领域

本发明涉及一种多头转向吸嘴装置，尤指一种应用于半导体检测设备中，用以吸取半导体芯片以进行外形检测的多头转向吸嘴装置。

背景技术

半导体芯片的品质检测，会使用一半导体检测设备进行半导体芯片的检测，其中，该半导体检测设备包含一机台、一吸嘴装置及一摄像装置，该吸嘴装置可移动地设置于该机台上，该吸嘴装置包含一可被驱动垂直升降的吸嘴，该摄像装置设置于该检测设备的机台一侧，该摄像装置包含四个摄像件，该些摄像件圈围形成一四方形的检测空间，且该些摄像件皆面向该检测空间。

当在进行所述半导体芯片的品质检测时，该吸嘴装置的吸嘴会被驱动移动至所述半导体芯片的上方，并会将所述半导体芯片吸起，并移动至该摄像装置的上方，接着所述吸嘴装置会将吸嘴向下移动，并使所述半导体芯片进入该检测空间，此时该些摄像件会撷取所述半导体芯片的影像，并搭配检测统检测该半导体芯片的外形是否符合标准。

然而，目前应用于半导体芯片检测的半导体检测设备中，每次仅能检测一片半导体芯片，进而导致在进行大量的半导体芯片检测时，所需的检测时间冗长的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一多头转向吸嘴装置，其目的在于改善现今半导体检测设备每一次仅能对单一片半导体芯片进行检测，无法半导体芯片批量检测，而导致检测时间冗长的问题。

为达成前述目的，本发明提供一种多头转向吸嘴装置，其包含：

一机架，其界定有三维空间中相互垂直的X轴、Y轴及Z轴，该机架的底部具有一沿着X轴方向延伸的导轨部；

多个吸嘴模块，其可沿着X轴移动地依序设置于该机架的导轨部上，每一吸嘴模块包含一壳体、一转向件及一吸嘴组件，该壳体内部形成一Z轴向延伸的组设空间以及一抽气通道，该壳体的后方形成一组接部，该抽气通道自壳体外表面朝内延伸而连通该组设空间，该转向件设置于该壳体上方，该吸嘴组件可沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，该吸嘴组件包含一吸气杆及一弹性件，该吸气杆可沿Z轴方向移动地设置于该壳体内，并位于该组设空间内，该吸气杆的顶端伸出壳体顶部且连接受控于该转向件，该吸气杆内有吸气通道且底端具有一吸嘴，且该吸气杆中段具有一分隔部，该分隔部气密地连接组设空间的侧壁，且将该组设空间区隔出一第一气密空间及一第二气密空间，该第一气密空间位于该第二气密空间的上方，所述抽气通道连通该第一气密空间，且该吸气杆的吸嘴通过吸气杆内的吸气通道连通该第一气密空间，该弹性件设置于该壳体内，并位于该第一气密空间，该弹性件向下推抵该吸气杆，该些吸嘴模块区分为多个第一吸嘴模块及多个第二吸嘴模块，所述第一吸嘴模块及所述第二吸嘴模块呈交替排列，每一第二吸嘴模块的壳体内还形成一进气通道，该进气通道连通该第二吸嘴模块的第二气密空间，且该吸气杆的分隔部位于该抽气通道及该进气通道之间；

一驱动模块，其设置于该机架上，该驱动模块包含一驱动组件及一平移杆，该驱动组件设置于该机架的一端，该平移杆可朝Y轴方向移动地设置于该机架的一侧，该平移杆连接受控于该驱动组件，该些吸嘴模块的转向件可滑移地连接受控于该平移杆，并控制所述吸气杆的转向；以及

一移动模块，其设置于该机架上，并位于该导轨部后方，该移动模块包含一螺杆及一移动组件，该螺杆沿X轴方向枢设于该机架的导轨部后方，该移动组件可沿X轴方向移动地螺设于该螺杆上，该移动组件包含一外壳及一定位部，该外壳可移动地螺设于该螺杆上，该定位部设置于该外壳内，且该定位部可选择性组接于该些吸嘴模块的组接部。