[发明专利]吸盘表面温度均匀性检测装置及检测方法

摘要

本发明涉及集成电路分选测试领域，目的是提供一种吸盘表面温度均匀性检测装置及检测方法。一种吸盘表面温度均匀性检测装置，包括：底板，设于底板上端的吸盘；所述的吸盘表面温度均匀性检测装置还包括：若干个置于吸盘上表面的测温元件，个数与测温元件个数相同且一一对应压住测温元件上端的隔热垫，隔热垫压紧装置，与测温元件信号连接的多通道温度记录仪。该吸盘表面温度均匀性检测装置检测吸盘表面温度均匀性误差较小，且压测的方法可减少测温元件对测温点的干扰，测得的温度值更加准确，测得的吸盘表面温度均匀性更加准确可靠。

主权项

1.一种吸盘表面温度均匀性检测装置，包括：底板，设于底板上端的吸盘；其特征是，所述的吸盘表面温度均匀性检测装置还包括：若干个置于吸盘上表面的测温元件，个数与测温元件个数相同且一一对应压住测温元件上端的隔热垫，隔热垫压紧装置，与测温元件信号连接的多通道温度记录仪；吸盘为圆形吸盘；隔热垫压紧装置包括：至少一个纵向设置的压紧组件和至少一个横向设置且位于纵向设置的压紧组件上方的压紧组件，个数与纵向设置的压紧组件个数相同且一一对应的下支承调节组件，个数与横向设置的压紧组件个数相同且一一对应的上支承调节组件；压紧组件包括：设有若干个压紧螺孔且位于吸盘上方的横梁，个数少于等于压紧螺孔个数的压紧螺钉；一个压紧螺钉的螺杆与一个压紧螺孔螺纹连接且压紧螺钉的螺杆下端压住一个隔热垫。