[发明专利]用于面板级扇出表面处理的工艺系统及方法

摘要

本发明提供了一种用于面板级扇出表面处理的工艺系统及方法，该工艺系统包括：脱气塔、装卸载单元、载台及其搬运装置、射频蚀刻室以及物理气相沉积室；其中，载台用于承载并固定面板级扇出，装卸载单元用于将经过脱气塔处理后的面板级扇出装载到载台上以及用于将经过射频蚀刻室和/或物理气相沉积室处理后的面板级扇出从载台上卸载下来，搬运装置用于在装卸载单元、射频蚀刻室以及物理气相沉积室之间搬运所述载台。该工艺系统的设备组成结构简单，只需一个机械手在一个工作站(装卸载工作站)即可完成对面板级扇出的装卸载过程，且该工艺系统具有通用性强(适用于多种尺寸规格的面板级扇出)以及生产效率高的特点。

主权项

1.一种用于面板级扇出表面处理的工艺系统，其特征在于，所述工艺系统包括：脱气塔、装卸载单元、载台及其搬运装置、射频蚀刻室以及物理气相沉积室；其中，所述载台用于承载并固定面板级扇出，所述装卸载单元用于将经过所述脱气塔处理后的面板级扇出装载到所述载台上以及用于将经过所述射频蚀刻室和/或所述物理气相沉积室处理后的面板级扇出从所述载台上卸载下来，所述搬运装置用于在所述装卸载单元、所述射频蚀刻室以及物理气相沉积室之间搬运所述载台；其中，所述载台包括载台底座以及遮挡单元，所述载台底座用于承载并固定面板级扇出，所述遮挡单元盖设于所述载台底座的上表面；所述遮挡单元包括支撑杆以及与所述支撑杆连接的遮挡板，所述支撑杆可带动所述遮挡板延展或者收缩，以改变所述载台底座上表面的被遮挡位置和被遮挡面积。