[发明专利]一种MEMS有机高分子声表面波氢气传感器有效
| 申请号： | 201610919160.5 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106556642B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张朋;范福玲;常静;赵启凤;杨益;付邦胜;江涛;王双红;靳莹瑞;肖俊明;王晓雷 | 申请（专利权）人： | 中原工学院 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张绍琳;栗改 |
| 地址： | 451191 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS有机高分子声表面波氢气传感器，包括声表面波器件和智能控制模块，声表面波器件与频率测量装置相连接，智能控制模块通过数据采集处理单元与频率测量装置、温度传感器、压力传感器和湿度传感器相连接，智能控制模块与神经网络误差补偿单元、RFID物联网通信模块、频率测量装置相连接；声表面波器件为三延迟声表面波器件，三条声表面波延迟线交叉处设有氢气敏感膜，氢气敏感膜为带有短链的长链型网状纳米结构的聚吡咯有机高分子敏感材料。本发明实现对氢气的常温下敏感，提高了敏感特征量的量取精度，对温度、湿度、压力等误差干扰的高精度滤除和补偿，实现传感数据的无线传输，大大提高了声表面波氢气传感器的信息化水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 有机 高分子 表面波 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS有机高分子声表面波氢气传感器，包括声表面波器件和智能控制模块，其特征在于：所述声表面波器件与频率测量装置相连接，智能控制模块通过数据采集处理单元与频率测量装置、温度传感器、压力传感器和湿度传感器相连接，智能控制模块与神经网络误差补偿单元、RFID物联网通信模块、频率测量装置相连接；所述声表面波器件为三延迟声表面波器件，声表面波器件包括ST切石英基底、保护增强模和声表面波延迟线，ST切石英基底上设有保护增强模，保护增强膜上蒸镀刻蚀有声表面波延迟线，声表面波延迟线包括相互交叉的三条声表面波延迟线，声表面波延迟线交叉处设有氢气敏感膜，氢气敏感膜为带有短链的长链型网状纳米结构的聚吡咯有机高分子敏感材料；所述聚吡咯有机高分子敏感材料为掺杂有ZnO和SnO2的聚吡咯有机高分子敏感材料。
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