[发明专利]一种用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统

摘要

本发明涉及一种用于同位素电磁分离器真空系统及其控制系统，所述真空系统包括顺序连接的如下组成部分：预抽真空机组、真空室、高真空机组、前级真空机组。所述控制系统包括PLC模块、路由器、上位机、触摸屏；所述路由器分别连接PLC模块、上位机和触摸屏；所述触摸屏还连接第一真空计和第二真空计；所述PLC模块连接并控制所述真空系统中的继电器、测量元件、断路器及热继电器。本发明的真空系统及其控制系统，可靠性高、抗干扰能力强、编程安装使用简便、寿命长，对系统分散控制、集中管理操作，提高了真空系统的安全性和可靠性，为分离器的稳定运行提供了有力保障。

主权项

1.一种用于同位素电磁分离器真空系统的控制系统，其特征在于：所述真空系统包括顺序连接的如下组成部分：预抽真空机组、真空室、高真空机组、前级真空机组；所述预抽真空机组将所述真空室预抽真空到20Pa左右的低真空；所述高真空机组所述将真空室抽真空到低于3×10-3Pa，并一直维持到分离工作结束；所述高真空机组包括扩散泵(7)及与所述扩散泵连接的增压泵(9)、制冷机(6)、扩散泵阀门(8)、空气压缩机(20)；所述高真空机组还包括位于扩散泵和真空室之间的第一真空计；所述前级真空机组将高真空机组排出的气体抽出；所述前级真空机组包括四台并联的前级泵(16-19)及其对应的四个前级阀门(12-15)、连接所述四个前级阀门的前级阀(11)；所述前级真空机组还包括位于前级泵阀门(12-15)和前级阀(11)之间的第二真空计(10)；所述控制系统包括PLC模块、路由器、上位机、触摸屏；所述路由器分别连接PLC模块、上位机和触摸屏；所述触摸屏还连接第一真空计和第二真空计；所述PLC模块连接并控制所述真空系统中的继电器、测量元件、断路器及热继电器。