[发明专利]具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置有效
| 申请号： | 201610898593.7 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN106851956B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 徐永撤 | 申请（专利权）人： | 永信射频电子有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朴英淑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及高频常压等离子头具有高频匹配部及分析传感器的高频常压等离子发生装置。更详细地，包括：外壳，内置有现有高频常压等离子头；高频输入端，设置在用于遮蔽内置于上述外壳的上述高频常压等离子头的上部的上板上；以及匹配部，用于对向上述高频输入端输入的高频和阻抗进行匹配。本发明的具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置的特征在于，作为上述匹配部的输出的经匹配的高频输出通过分析传感器来检测向上述高频常压等离子头供给的高频的电特性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 匹配 分析 传感器 体型 高频 常压 等离子 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有匹配部及分析传感器的一体型高频常压等离子发生装置，其特征在于，在用于遮蔽内置有用于生成等离子的高频常压等离子头的外壳的上部的上板上设置高频输入端和用于对向上述高频输入端输入的高频和阻抗进行匹配的匹配部，作为上述匹配部的输出的经匹配的高频输出通过附设于上述匹配部的分析传感器，来检测向上述高频常压等离子头供给的高频的电特性，上述高频常压等离子头为单高频常压等离子头(10)，上述匹配部为单头单匹配部(60s)，在上述单头单匹配部(60s)中，供给面板(70)的高频输入连接器(701)与高频同轴电缆(601)相连接，在上述高频同轴电缆(601)的末端，上述高频同轴电缆(601)的外皮借助接地杆(603)接地到匹配器下部板(640)，芯线与附着于第一可变电容器(606)后部面的第一后部面冷却板(605)相连接，使附着于上述第一可变电容器(606)后部面的第一后部面冷却板(605)与附着于第二可变电容器(609)后部面的第二后部面冷却板(608)相向，并借助导电体相连接，通过与附着于上述第一可变电容器(606)的前部面的第一前部面冷却板(607)相连接的U字型杆线圈(618)接地到上述匹配器下部板(640)，通过附着于上述第二可变电容器(609)的前部面的第二前部面冷却板(610)与导电体支撑件(611)相连接，上述导电体支撑件(611)与线圈(612)相连接，上述线圈(612)的相反侧末端部分通过第一分析传感器(616)，使上述单头单匹配部(60s)的输出通过电极引入导电体杆(17)向在匹配器下部板(640)的下方形成于上述单高频常压等离子头(10)下部的等离子反应器供给高频电。
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