[发明专利]一种图案化有机电极PEDOT:PSS的方法有效
| 申请号： | 201610887107.1 | 申请日： | 2016-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN106299123B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张跃;张先坤;张铮;刘硕;林沛;申衍伟;杜君莉;刘柏杉 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 臯吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于有机电极领域，具体涉及一种图案化有机电极PEDOT:PSS的方法。在基底上旋涂电子束光刻胶，烘干后用电子束曝光方法将基底上的电子束光刻胶层图案化，在带有图案化的电子束光刻胶层的基底上沉积PEDOT:PSS，一定温度下干燥后用有机溶剂浸泡除去电子束光刻胶，用大量去离子水冲洗后得在基底上图案化的有机电极PEDOT:PSS，实现图案化有机电极PEDOT:PSS。本发明提供的方法使有机电极PEDOT:PSS图案化的精度达到10nm，同时摆脱了光刻胶残留缺陷和反应离子刻蚀损伤问题，为有机电极的图案化道路探索了一条新思路，同时为有机电极的大规模应用奠定了广泛的基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 有机 电极 pedot pss 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案化有机电极PEDOT:PSS的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)在基底上旋涂电子束光刻胶，烘干后得在基底上的电子束光刻胶层；(2)用电子束曝光方法将所述基底上的电子束光刻胶层图案化，得带有图案化的电子束光刻胶层的基底；(3)在所述带有图案化的电子束光刻胶层的基底上沉积PEDOT:PSS，在120℃‑220℃下干燥5‑30min得中间物；(4)用有机溶剂浸泡所述中间物除去电子束光刻胶，用大量去离子水冲洗后得在基底上图案化的有机电极PEDOT:PSS，实现图案化有机电极PEDOT:PSS。
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