[发明专利]非球面补偿器透射波前方程的测量装置和方法在审
| 申请号： | 201610886907.1 | 申请日： | 2016-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN106404354A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 高松涛;苗二龙;武东城;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 130033 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非球面补偿器透射波前方程的测量装置和方法，测量装置包括移相干涉仪、测距干涉仪和参考球面组件，非球面补偿器置于移相干涉仪和参考球面组件之间，且三者同轴设置，参考球面组件沿光轴方向移动，参考球面组件与非球面补偿器形成环形面形图，测量参考所述球面组件的相对位移，利用环形面形图和相对位移计算非球面补偿器透射波前方程。本发明可实现对非球面补偿器透射波前进行测量，从而在进行非球面加工之前确保非球面补偿器正确无误，避免非球面补偿器加工错误对最终光学系统造成严重影响；测量方法的测量精度高，测量装置成本低，便于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 补偿 透射 方程 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种非球面补偿器透射波前方程的测量装置，其特征在于，包括：移相干涉仪、测距干涉仪和参考球面组件；其中，作为被测对象的非球面补偿器置于所述移相干涉仪和参考球面组件之间，且所述非球面补偿器、移相干涉仪和参考球面组件同轴设置，所述参考球面组件可沿光轴方向移动；所述移相干涉仪发出的光经过所述非球面补偿器，并由所述参考球面组件反射，反射光经过所述非球面补偿器后入射至所述移相干涉仪，所述参考球面组件沿光轴方向移动，在所述移相干涉仪内形成参考球面组件与非球面补偿器之间的环形面形图，所述测距干涉仪测量参考所述球面组件的相对位移，所述移相干涉仪利用所述环形面形图和相对位移计算非球面补偿器透射波前方程。
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