[发明专利]形成四棱柱的加工方法有效

专利信息
申请号: 201610884306.7 申请日: 2016-10-10
公开(公告)号: CN107017336B 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 原田成规;襟立真奈 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L41/338 分类号: H01L41/338
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种加工方法,能够抑制在板状基板上由多个较深的切削槽形成的棱柱发生倾倒。本发明是在具有制品区域(12)的板状基板(14)上形成多个四棱柱(44)的加工方法。在准备了具有围绕制品区域的剩余区域(16)的剩余尺寸板状基板(10)之后,在第1方向上利用切削刀具(30)切入剩余尺寸板状基板,形成第1切削槽(41)。之后,在与第1方向垂直的第2方向上利用切削刀具切入剩余尺寸板状基板,形成第2切削槽(42),并将树脂填充到第1切削槽和第2切削槽内。然后,利用切削刀具对剩余区域进行切削,将其从板状基板去除。
搜索关键词: 形成 棱柱 加工 方法
【主权项】:
一种加工方法,在具有制品区域的板状基板上形成多个四棱柱,其中,该加工方法具有如下的步骤:剩余尺寸板状基板准备步骤,准备具有剩余区域的剩余尺寸板状基板,其中,所述剩余区域围绕该制品区域;第1切削槽形成步骤,在实施了该剩余尺寸板状基板准备步骤之后,在第1方向上利用切削刀具切入该剩余尺寸板状基板而形成第1切削槽;第2切削槽形成步骤,在实施了该第1切削槽形成步骤之后,在与所述第1方向垂直的第2方向上利用切削刀具切入该剩余尺寸板状基板而形成第2切削槽;树脂填充步骤,在实施了该第2切削槽形成步骤之后,将树脂填充到该第1切削槽和该第2切削槽内;以及剩余区域去除步骤,在实施了该树脂填充步骤之后,利用切削刀具将该剩余区域切削而去除。
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