[发明专利]闭合元件、真空阀以及用于生产闭合元件的方法

摘要

本发明涉及一种具有搅拌摩擦焊连接的用于真空密封的闭合元件，其具有：阀盘(31)，其借助与设置成用于处理体积的真空阀(1)的真空阀开口的相互作用来实现气密性闭合处理体积，其中，阀盘(31)包括闭合侧(4、34)以及大致平行于其相对安置的后侧(3、33)，以及第一密封面(35)，其配属至闭合侧(4、34)并且尤其在形式和尺寸方面对应于真空阀开口的第二密封面，尤其具有固化密封材料(36)，其中，第二密封面围绕真空阀开口延伸；以及横梁(40)，其尤其具有接收机构(21)，接收机构(21)用于横向于横梁的延伸方向的驱动部件，其中，横梁(40)在阀盘(31)的后侧(3、33)在至少一个连接点处连接至阀盘(31)。在至少一个连接点处，横梁(40)与所述阀盘(31)的连接包括搅拌摩擦焊连接。

主权项

一种用于真空阀(1)的闭合元件(30、50、60、70)，该闭合元件具有：阀盘(2、31、51、61、71、81)，该阀盘借助与设置用于处理体积的所述真空阀(1)的真空阀开口的相互作用来实现所述处理体积的气密性闭合，其中，所述阀盘(2、31、51、61、71、81)包括：闭合侧(4、34)以及大致平行于所述闭合侧相对安置的后侧(3、33)，以及第一密封面(35)，该第一密封面配属至所述闭合侧(4、34)并且尤其在形式和尺寸方面对应于所述真空阀开口的第二密封面，所述第一密封面尤其具有固化的密封材料(36)，其中，所述第二密封面围绕所述真空阀开口延伸，以及横梁(20、40、52、62、72、82)，该横梁尤其具有接收机构(21)，所述接收机构(21)用于横向于所述横梁的延伸方向的驱动部件，其中，所述横梁(20、40、52、62、72、82)在所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的所述后侧(3、33)在至少一个连接点(23、32、53、73)处连接至所述阀盘(2、31、51、61、71、81)，其特征在于，在所述至少一个连接点(23、32、53、73)处，所述横梁(20、40、52、62、72、82)与所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的连接包括搅拌摩擦焊连接(55)。