[发明专利]芯片式光谱成像系统

摘要

本发明公开了一种芯片式光谱成像系统，属于光谱成像领域。该系统主要包括入射狭缝1、凹面反射镜2、闪耀角可调微型可编程光栅3、凹面反射镜4、面阵探测器5、上基底6、中间层7、下基底8，同时集成前置光路、分光、后置光路与测量功能，为解决现有系统体积与质量大、光谱能量分布固定等因素导致的无法随实时应用要求而改变的情况。本发明以闪耀角可调微型可编程光栅作为分光元件，通过调整驱动电压实现对闪耀角的可编程控制，进而控制衍射光谱，将它用于光谱成像系统，可实现对光谱的空间调制，同时驱动控制电路与分光元件的可单片集成性将极大缩减系统的体积与重量，成本也将大幅度降低，在航空航天等领域具有非常广阔的应用前景。

主权项

芯片式光谱成像系统，其特征在于，主要包括入射狭缝1、凹面反射镜2、闪耀角可调微型可编程光栅3、凹面反射镜4、面阵探测器5、上基底6、中间层7、下基底8；所述中间层7使得上基底6和下基底8固定成某一特定间距；所述入射狭缝1、闪耀角可调微型可编程光栅3和面阵探测器5固定于上基底6上；所述凹面反射镜2和凹面反射镜4则固定于下基底8上；入射光通过所述入射狭缝1后，经凹面反射镜2准直后变成平行光照射到所述闪耀角可调微型可编程光栅3上，通过改变闪耀角可调微型可编程光栅3的闪耀角，实现对衍射光谱强度的空间调制，调制后的衍射光谱通过凹面反射镜4聚焦到测量元件5上。