[发明专利]成膜装置及其方法

摘要

本发明涉及一种成膜装置及其方法，该装置主要包括腔室、电场产生模块、磁场产生模块、加热模块、处理气体供应模块及主控制器。主控制器控制处理气体供应模块导入处理气体至腔室、控制加热模块加热成膜材料粒子移动空间、控制电场产生模块的上部电极与下部电极间产生电场、以及控制磁场产生模块的变换磁场产生单元不断切换成膜材料侧的磁场，以使成膜材料以及成膜对象体各自析出粒子并进行离子交换后结合，再吸附于成膜对象体表面。据此，本发明应用范围广泛，且设备成本低，又所形成的薄膜附着力佳，完全无需其它金属介质层，且不产生任何制程污染。

主权项

一种成膜装置，包括：腔室，其内部包括成膜对象体承载部以及成膜材料承载部，该成膜对象体承载部用于载置成膜对象体，该成膜材料承载部用于载置成膜材料，该成膜对象体承载部与该成膜材料承载部之间构成成膜材料粒子移动空间；电场产生模块，其包括上部电极、下部电极以及电压电源供应单元，该上部电极电连接至该成膜对象体，该下部电极电连接至该成膜材料，该电压电源供应单元为该上部电极和该下部电极供应电源；磁场产生模块，其设置于该成膜材料承载部下方，该磁场产生模块包括固定磁场产生单元以及变换磁场产生单元；该固定磁场产生单元上设有呈环形等距排列的多个第一永磁体、以及位于该环形中心的第二永磁体，所述多个第一永磁体与该第二永磁体以不同极性方式配置；该变换磁场产生单元设置有多个电磁产生线圈，其分别对应于所述多个第一永磁体与该第二永磁体；处理气体供应模块，其供应处理气体至该腔室中；加热模块，其配置于该腔室内并至少局部地对应于该成膜材料粒子移动空间；以及主控制器，其与该电场产生模块、该磁场产生模块、该处理气体供应模块以及该加热模块电连接；该主控制器控制该处理气体供应模块导入该处理气体至该腔室中，并控制该加热模块加热该成膜材料粒子移动空间，并控制该电场产生模块的该上部电极与该下部电极间产生电场，以及控制该磁场产生模块的该变换磁场产生单元的所述多个电磁产生线圈依序轮流供电以产生不断切换的磁场，进而使该成膜材料以及该成膜对象体各自析出粒子并进行离子交换后结合，再吸附于该成膜对象体的表面。