[发明专利]用于检测在检测区域中的物体的装置和方法

摘要

本发明涉及用于检测在检测区域(2)中的物体(1)的装置，其具有辐射设备(3，3a，8)，用于发出电磁扫描电子束(4)进入至少一部分检测区域中；具有用于调制扫描电子束(4)的设备(5)；同时还具有检测设备(6)，用于检测来自检测区域(2)的至少一部分的反射辐射(7)；并具有用于依靠扫描电子束(4)的调制估算被检测的反射辐射(7)的时间响应的设备(10)。根据本发明，人们可想到包含辐射源(3a、)的辐射设备(3，3a，8，9)，所述辐射源(3a)辐射漫射设备(8)，所述漫射设备(8)将所述辐射至少部分地散射到检测区域(2)中，以能够应用尽可能强大的激光作为光源而不会对人的眼睛安全或一般安全造成危害。

主权项

用于检测在检测区域(2)中的物体(1)的装置，其具有辐射设备(3，3a，8)，用于发出至少一种电磁扫描电子束(4)进入至少一部分所述检测区域；用于调制扫描电子束(4)的设备(5)；检测设备(6)，用于检测来自至少一部分所述检测区域(2)的反射辐射(7)；和用于依靠扫描电子束(4)的调制估算被检测的反射辐射(7)的时间响应的设备(10)，其特征在于，所述辐射设备(3，3a，8，9)包括至少一个激光光源形式的辐射源(3a)，其辐射漫射设备(8)，所述漫射设备(8)将所述辐射至少部分地散射到所述检测区域(2)中；并提供了单独的照明辐射设备(20)，其同样包含一激光光源，所述激光光源的光在所述漫射设备(8)上散射，其中所述漫射设备包括具有光致发光物质的层并被设置在光电子束器壳体(23)中。