[发明专利]一种多波长光学测量装置及其测量方法在审
| 申请号： | 201610817235.9 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN107806834A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 夏国强;田保峡;李天笑 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙)31249 | 代理人： | 周乃鑫,周荣芳 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种多波长光学测量装置及其测量方法，该多波长光学测量装置包含激光发生组件、光学组件、反射光接收组件、以及控制组件，多波长光学测量装置可以产生两种以上的具有不同波长的激光，不同波长的激光的反射率不会同时小于设定阈值，多波长光学测量装置通过切换不同波长的激光作为入射光源，始终保证当前波长的激光的当前反射率大于设定阈值。本发明利用多种波长的激光交替切换进行光学测量，始终保证正在进行检测的激光的反射率具有较高值，由于确保了不同波长的激光的反射率不会同时接近0，从而确保了在薄膜生长的任何阶段，对翘曲率的测量都是有效的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 光学 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种多波长光学测量装置，其特征在于，其设置在MOCVD反应腔体外部，该多波长光学测量装置包含：激光发生组件、光学组件、反射光接收组件、以及控制组件，所述的激光发生组件、光学组件和反射光接收组件设置的位置保证激光发生组件发射的激光经过光学组件后，通过MOCVD反应腔体上的光学窗口入射到衬底薄膜表面，并保证衬底薄膜表面反射的激光被反射光接收组件接收并传递给控制组件以计算翘曲率；所述的激光发生组件可以产生两种以上的具有不同波长的激光，所述的不同波长的激光的反射率不会同时小于设定阈值；或者，所述的反射光接收组件可以识别两种以上的具有不同波长的激光，所述的不同波长的激光的反射率不会同时小于设定阈值；所述的多波长光学测量装置通过切换不同波长的激光作为入射光源，始终保证当前波长的激光的当前反射率大于设定阈值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）有限公司，未经中微半导体设备（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610817235.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
