[发明专利]一种集成式带通滤波器及其制造方法和光谱仪有效
| 申请号： | 201610814317.8 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106441565B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 但亚平 | 申请（专利权）人： | 扬中市恒海电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G02B5/22 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;包孟如 |
| 地址： | 212211 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成式带通滤波器及其制造方法和光谱仪。本发明的集成式带通滤波器包括一金属层或一主要为金属的层，金属层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，通过金属微米或纳米孔的光的特征波长λ近似满足以下公式：λ≈nD。这里，n是金属孔中填充材料的折射系数，D是金属孔的直径或宽度。本发明的集成式带通滤波器中每个金属孔都是一个带通滤波器，通过改变金属孔的大小，可以将大量选通波长不同的微型带通滤波器，通过一次加工的办法大规模集成在很小的芯片上。另外本发明的工艺制造方法与CMOS工艺兼容，成本低，并且比较容易制备金属孔，特别是孔内侧壁平滑且孔径均匀的金属孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 带通滤波器 及其 制造 方法 光谱仪 | ||
【主权项】：
1.一种集成式带通滤波器，其特征在于，包括一金属层或一主要为金属的层，该金属层或主要为金属的层中形成贯通的微米或纳米孔阵列，金属微米孔或纳米孔中具有填充材料，通过所述金属微米或纳米孔的光的特征波长λ近似满足以下公式：λ≈nD这里，n是金属孔中所述填充材料的折射系数，D是金属孔的直径或宽度，其中，金属孔的深度至少大于所需选通的光的波长。
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