[发明专利]药液排出装置有效
申请号: | 201610811889.0 | 申请日: | 2016-09-09 |
公开(公告)号: | CN106981442B | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 朴镐胤;李忠翰;具滋贤;梁俊锡 | 申请(专利权)人: | 显示器生产服务株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 11384 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国京畿道华城市八*** | 国省代码: | 韩国;KR |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种药液排出装置,包括:泵单元,所述泵单元具有泵外壳,及配置在所述泵外壳的内部,并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管,在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室;气缸单元,所述气缸单元具有用所述泵单元将所述非压缩性流体供应的活塞,及结合在所述活塞下部的气缸杆,及具有收容所述活塞的气缸板;驱动单元,具有用于使所述气缸杆移动的发动机;动力传达单元,用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动;及套管单元,一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且支承所述活塞的同时,防止所述活塞的晃动,另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩性流体移动的壁面流路。 | ||
搜索关键词: | 药液 排出 装置 | ||
【主权项】:
1.一种药液排出装置,其特征在于,包括:/n泵单元,所述泵单元具有泵外壳,及配置在所述泵外壳的内部,并且借助于外力收缩时将药液排出的弹性软管,在所述泵外壳内侧面及所述弹性软管外侧面之间形成有使用于加压所述弹性软管的非压缩性流体流入的泵腔室;/n气缸单元,所述气缸单元具有:利用所述泵单元供应所述非压缩性流体的活塞;结合在所述活塞下部的气缸杆;以及收容所述活塞的气缸板;/n驱动单元,具有用于使所述气缸杆移动的发动机;及/n动力传达单元,用于将所述发动机的旋转力转换为所述气缸杆的直线移动;及/n套管单元,一部分紧贴在所述活塞的外侧面并且在支承所述活塞的同时,防止所述活塞的晃动,另外一部分与所述活塞的外侧面一起形成所述非压缩性流体移动的壁面流路;/n其中,所述套管单元,包括:/n环形的套管主体;/n所述套管主体的内侧面,包括:一个以上的内接部,所述内接部向所述活塞的外侧面方向突出,并且与所述活塞的外侧面紧贴接触,及流路形成部,所述流路形成部对应于在所述套管主体的内侧面中除所述内接部以外的部分;/n所述流路形成部与所述活塞的外侧面一起形成所述壁面流路。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造