[发明专利]具有电流取样电极的电镀处理器有效
| 申请号： | 201610797835.3 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106480491B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈里·J·威尔逊;保罗·R·麦克休 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D17/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电镀处理器，所述电镀处理器具有头部，所述头部包括晶片夹具，其中所述头部为可移动的以将所述晶片夹具中的晶片放入储存第一电解液并具有一个或多个阳极的容器中。取样电极组件可定位成邻近所述容器下端、或在所述阳极下方。取样电流通道从所述取样电极组件延伸至邻近于所述晶片夹具的虚拟取样位置。所述取样电极组件中的取样电极定位在第二电解液内，所述第二电解液通过薄膜来与所述第一电解液分开。或者，可以使用两个薄膜，其中这两者间存在隔离溶液。所述处理器避免将金属涂镀至所述取样电极上，即使在处理具有较高安培‑分钟电镀特性的再分布层和晶片级封装的晶片时也是如此。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电流 取样 电极 电镀 处理器 | ||
【主权项】：
一种电镀处理器，所述电镀处理器包括：容器，所述容器储存含金属离子的阴极电解液；头部，所述头部具有晶片夹具，其中所述头部为可移动的以将所述晶片夹具放入所述容器中；至少一个阳极，所述至少一个阳极在所述容器中；隔离电解液隔室，所述隔离电解液隔室容纳隔离电解液，其中所述隔离电解液通过第一薄膜来与所述阴极电解液分开；取样电解液隔室，所述取样电解液隔室容纳取样电解液，其中取样电解液通过第二薄膜来与所述隔离电解液分开；以及电流取样电极，所述电流取样电极在所述取样电解液隔室中。
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