[发明专利]一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置及方法

摘要

本发明公开了一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置即方法，其包括：渣浆缓冲罐，用于储存排放液并分离出氯硅烷；输入管道，通过阀门连接至渣浆缓冲罐的顶部，用于将从沉降器排出的排放液输送到所述渣浆缓冲罐；第一输出管道，通过阀门连接至渣浆缓冲罐的中部，用于将在渣浆缓冲罐中分离出的氯硅烷输送至蒸馏装置；其中，所述第一输出管道上设置有第一过滤器和第一屏蔽泵；第二输出管道，通过阀门连接至渣浆缓冲罐的底部，用于将在渣浆缓冲罐中分离出的残留液输送至水洗装置。通过对沉降器排放液中氯硅烷进行回收再利用，提高了多晶硅生产中的中间产品三氯氢硅的产量，节约了对废渣进行水洗的水量及药品用量，降低了多晶硅的生产成本。

主权项

1.一种沉降器排放液中氯硅烷的回收方法，其特征在于，采用一种沉降器排放液中氯硅烷的回收装置，所述回收装置包括：渣浆缓冲罐，用于储存排放液并分离出氯硅烷；输入管道，通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的顶部，用于将从沉降器排出的排放液输送到所述渣浆缓冲罐；第一输出管道，通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的中部，用于将在所述渣浆缓冲罐中分离出的氯硅烷输送至蒸馏装置；其中，所述第一输出管道上设置有第一过滤器和第一屏蔽泵；第二输出管道，通过阀门连接至所述渣浆缓冲罐的底部，用于将在所述渣浆缓冲罐中分离出的残留液输送至水洗装置；其中，所述回收方法包括：将从沉降器排出的排放液输送到渣浆缓冲罐中静置分离；将静置分离的氯硅烷上清液过滤后由屏蔽泵输送至蒸馏装置回收；将静置分离的下部残留液输送至水洗装置。