[发明专利]一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法在审
| 申请号： | 201610743472.5 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106168524A | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 揣荣岩;关若飞;张晓民 | 申请（专利权）人： | 江苏奥尼克电气股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/04 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 耿岩 |
| 地址： | 221132 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法，在保证传感器满量程范围内线性响应的前提下，根据量程、过载要求确定压力敏感腔体高度后，通过调整压力敏感弹性膜片的长度、宽度、以及膜片厚度，能够显著改变传感器的过载能力，同时还可以保证传感器的灵敏度不变小，即通过合理选择弹性膜的片尺寸提高压力传感器的过载能力。在没有增加工艺步骤和生产成本的前提下，只是通过优化了敏感结构的尺寸，提高过载能力。为研制尺寸小、灵敏度高、过载能力强的压力传感器提供了有效途径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 微机 系统 压力传感器 过载 能力 方法 | ||
【主权项】：
一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法，其特征在于：在保证压力传感器满量程范围内线性响应的前提下，通过调整压力敏感弹性膜片尺寸，改变压力传感器的过载能力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏奥尼克电气股份有限公司，未经江苏奥尼克电气股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610743472.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
