[发明专利]一种气体传感器加热盘及加工方法有效
| 申请号： | 201610738908.1 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN107782767B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 邹波;郭梅寒;程程 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种气体传感器加热盘的加工方法，包括在硅晶圆上设置绝缘层；在绝缘层上设置加热电极和检测电极，两者相互独立；硅晶圆刻蚀出检测腔。该方法将加热电极和检测电极都设置在相同绝缘层上，加热电极和检测电极之间相互间隔独立，相互不接触。因此在加热电极和检测电极之间不需要单独设置额外的绝缘层将其分隔开，因此减少了加工步骤，并且降低了绝缘材料的使用量。本发明还公开了一种气体传感器加热盘，包括硅晶圆，其上设置检测腔；绝缘层及其上的加热电极和检测电极，检测电极与加热电极相互独立。该加热盘上加热电极和检测电极均由相同绝缘层承托，两者位于绝缘层上不同的位置，不需要在检测电极与加热电极之间设置绝缘层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 加热 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种气体传感器加热盘的加工方法，其特征在于，包括：在硅晶圆(1)上设置绝缘层(2)；在所述绝缘层(2)上设置加热电极(31)；在所述绝缘层(2)上设置检测电极(4)，所述检测电极(4)与所述加热电极(31)相互独立；所述硅晶圆(1)刻蚀出检测腔(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深迪半导体（绍兴）有限公司，未经深迪半导体（绍兴）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610738908.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种空气质量检测传感器
- 下一篇：浸水钢筋混凝土劣化在线监测系统
