[发明专利]一种镀膜用石墨舟有效
| 申请号： | 201610737788.3 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106222629B | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 陈文浩;王冕;奚彬;刘仁中 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜用石墨舟，属于太阳能电池镀膜技术领域，为解决现有的石墨舟镀膜时膜厚不均匀的问题而设计。本发明提供的镀膜用石墨舟包括间隔设置的多片第一石墨舟片；所述第一石墨舟片具有硅片镀膜区域和特定区域，所述特定区域偏离所述硅片镀膜区域预设距离；沿石墨舟的中心向外侧方向，各所述第一石墨舟片的所述特定区域的电阻率依次递增。本发明的镀膜用石墨舟镀膜膜厚更均匀、能降低失败片比例、提高电池效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 镀膜 石墨舟片 硅片镀膜 膜厚 太阳能电池 电池效率 镀膜技术 间隔设置 依次递增 预设距离 不均匀 电阻率 多片 偏离 失败 | ||
【主权项】：
一种镀膜用石墨舟，其特征在于，包括间隔设置的多片第一石墨舟片(1)；所述第一石墨舟片(1)具有硅片镀膜区域(11)和特定区域(12)，所述特定区域(12)偏离所述硅片镀膜区域(11)预设距离；沿石墨舟的中心向外侧方向，各所述第一石墨舟片(1)的所述特定区域(12)的电阻率依次递增。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
