[发明专利]镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法

摘要

本发明提供了一种镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法，该方法包括：前驱体溶液的配制，即将溶剂醋酸、去离子水和添加剂甲酰胺与溶质醋酸镍、硝酸镧以0.3M的浓度在一定的温度下混合得到前驱体溶液和薄膜材料的制备，即将配制好的前驱体溶液采用旋转镀膜方式在基片上得到凝胶膜，然后在快速退火炉中分段进行热处理，形成薄膜材料。用该方法得到的薄膜具有高度的择优取向和良好的金属特性，在室温下的电阻率约为7.6×10^‑4Ωcm。用该薄膜可在其上制备出高质量的铁电薄膜材料或可作为铁电薄膜器件的底电极。

主权项

一种镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于该制备方法的具体步骤如下：(1)前驱体溶液的配制：溶剂为醋酸(CH₃COOH)去离子水，添加剂为甲酰胺(HCONH₂)，其体积比为25‑30∶5‑6∶0.5‑2；溶质为硝酸镧(La(NO₃)₃·xH₂O)，醋酸镍(Ni(CH₃COO)₂·H₂O)，它们的摩尔比为1∶1，以0.3M/L浓度溶于溶液中，配制的程序是：A.按上述的配制比先称取一定量的醋酸镍于一烧瓶中，加入一定量醋酸，然后在60‑80℃温度下加热使之溶解；B.再加入等摩尔量的硝酸镧，在50‑70℃温度下，一边不断搅拌，一边慢慢加入去离子水，直至不溶物消失，得到绿色透明的溶液；C.为了防止制成后的镍酸镧薄膜龟裂，还要向溶液中加入适量的甲酰胺；D.最后将得到的前驱体溶液通过0.2μm微孔的过滤器过滤，并通过加入或蒸发溶剂调节其浓度为0.3M/L；(2)薄膜材料的制备：A.成膜采用旋转‑镀膜方式，将配制好的前驱体溶液滴到高速旋转的基片上，基片转速在3000‑6000转/分之间，并保持20到30秒，溶剂迅速挥发得到凝胶膜；B.然后将凝胶膜置于退火炉中分段进行热处理，即在150‑200℃下加热2到3分钟，再在300‑400℃下热解3到5分钟，最后在500‑650℃下高温退火3到5分钟；C.根据所需的镍酸镧薄膜材料厚度，决定重复上述过程次数。