[发明专利]一种硅片切割液

摘要

本发明公开了一种硅片切割液，由以下重量份的原料组成聚乙二醇 70‑90份；表面活性剂 1‑5份；螯合剂5‑8份；有机醇1‑5份；钼酸钠0.1‑0.5份；油酸二乙醇酰胺硼酸酯0.6‑4份；去离子水 5‑15份。本发明提供的硅片切割液具有优秀的悬浮能力，可以有效悬浮碳化硅颗粒，提高切割效率，降低切割消耗；良好的分散能力，可以使碳化硅颗粒在与切割液混合时分布更均匀；出色的润滑性能，可在硅片表面形成保护膜，降低切割阻力，并保证切割出来的成品表面光滑；很好的冷却性能，可以有效的散发热量，降低切割应力。

主权项

一种硅片切割液，其特征在于：由以下重量份的原料组成：聚乙二醇              70‑90份；表面活性剂            1‑5份；螯合剂                5‑8份；有机醇                1‑5份；钼酸钠                0.1‑0.5份；油酸二乙醇酰胺硼酸酯  0.6‑4份；去离子水              5‑15份。