[发明专利]一种硅片切割液

说明书

技术领域

本发明涉及硅晶片切割工艺中使用的切割液,属于多晶硅生产技术领域。

背景技术

在光伏太阳能硅片切割过程中，硅片切割液作为硅片切割过程中必须使用的一种辅料耗材产品，其用量随着光伏太阳能行业以及中国的硅片加工行业的壮大而扩展。

切割液按成份分类主要包括油性切割液和水性切割液两大类。

第一类切割液产品主要是以矿物油为主要成分的油性切割液，其中含有矿物油，防腐蚀剂，抗挤压机等物质；切割液本身易燃，对环境污染较大，同时清洗硅片时需要含氟的烷烃溶剂。

第二类水性切割液产品可以溶于水或被水分散，清洗硅片用水即可，不用有机溶剂，对人体和环境无损害。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种硅片切割液。

技术方案：为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种硅片切割液，其特征在于：由以下重量份的原料组成：

聚乙二醇 70-90份；

表面活性剂 1-5份；

螯合剂 5-8份；

有机醇 1-5份；

钼酸钠 0.1-0.5份；

油酸二乙醇酰胺硼酸酯 0.6-4份；

去离子水 5-15份。

优选的，一种硅片切割液，由以下重量份的原料组成：

聚乙二醇 80-85份；

表面活性剂 2-4份；

螯合剂 6-7份；

有机醇 3-45份；

钼酸钠 0.2-0.3份；

油酸二乙醇酰胺硼酸酯 1-2.5份；

去离子水 10-15份。

所述表面活性剂为硬脂酸，十二烷基苯磺酸钠，季铵化物，卵磷脂，氨基酸型，甜菜碱型，脂肪酸甘油酯，脂肪酸山梨坦，聚山梨酯中的一种或多种。

所述有机醇为丙三醇、乙二醇、乙醇中的一种或多种。

所述螯合剂为多磷酸盐、氨基羧酸、1,3-二酮，羟基羧酸、多胺中的一种或多种。

有益效果：本发明提供的硅片切割液具有优秀的悬浮能力，可以有效悬浮碳化硅颗粒，提高切割效率，降低切割消耗；良好的分散能力，可以使碳化硅颗粒在与切割液混合时分布更均匀；出色的润滑性能，可在硅片表面形成保护膜，降低切割阻力，并保证切割出来的成品表面光滑；很好的冷却性能，可以有效的散发热量，降低切割应力。

具体实施方式

实施例1

一种硅片切割液，由以下重量份的原料组成：聚乙二醇 90份；表面活性剂 1份；螯合剂6份；有机醇3份；钼酸钠 0.1份； 油酸二乙醇酰胺硼酸酯4份；去离子水 10份。

其中，表面活性剂为硬脂酸，有机醇为丙三醇，螯合剂为氨基羧酸。

实施例2

一种硅片切割液，由以下重量份的原料组成：聚乙二醇70份；表面活性剂 5份；螯合剂8份；有机醇1份；钼酸钠 0.3份； 油酸二乙醇酰胺硼酸酯0.6份；去离子水5份。

其中，表面活性剂为脂肪酸山梨坦，有机醇为乙醇，螯合剂为1,3-二酮。

实施例3

一种硅片切割液，由以下重量份的原料组成：聚乙二醇80份；表面活性剂 3份；螯合剂6份；有机醇3份；钼酸钠 0.5份； 油酸二乙醇酰胺硼酸酯2份；去离子水15份。

其中，表面活性剂为脂肪酸甘油酯，有机醇为乙二醇，螯合剂为羟基羧酸。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。