[发明专利]一种基于超薄金属纳米粒子的超紧凑石墨烯电光调制器在审
| 申请号： | 201610727363.4 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN106200017A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陆卫兵;张金;黄保虎;刘震国 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张华蒙 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于超薄金属纳米粒子的超紧凑石墨烯电光调制器，属于集成光子器件技术领域，包括石墨烯层、三氧化二铝层、硅波导层和绝缘介质层，在绝缘介质层上设置硅波导层，在硅波导层上设置三氧化二铝层，在三氧化二铝层上设置覆盖金属结构的石墨烯层；石墨烯层包括单层石墨烯层和金属结构层，单层石墨烯层铺在金属结构层下面。本发明基于红外波段石墨烯电可调特性以及金属片的局域等离子谐振特性并利用了薄层金属的趋肤效应带来的耦合、损耗增强效应实现光波的快速宽带调制，不仅工艺CMOS兼容、具备25fJ/bit以内的超低能耗、2THz以上的调制带宽，有望用于海量数据传输、大型数据中心、高速片上/片间通信、物联网、云计算等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 超薄 金属 纳米 粒子 紧凑 石墨 电光 调制器 | ||
【主权项】：
一种基于超薄金属纳米粒子的超紧凑石墨烯电光调制器，其特征在于：包括叠合在一起的四层结构：石墨烯层(1)、三氧化二铝层(2)、硅波导层(3)和绝缘介质层(4)，在所述的绝缘介质层(4)上设置硅波导层(3)，在硅波导层(3)上设置三氧化二铝层(2)，在三氧化二铝层(2)上设置覆盖金属结构的石墨烯层(1)；所述的石墨烯层(1)包括单层石墨烯层(11)和金属结构层(12)，单层石墨烯层(11)铺在金属结构层(12)下面；所述的金属结构层(12)在垂直方向上的投影与硅波导层(3)重合。
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