[发明专利]用于机台监控的方法和系统在审
| 申请号： | 201610726876.3 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107785285A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 刘兰娜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人： | 高伟,卜璐璐 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于机台监控的方法和系统，所述方法包括基于机台监控数据库中的历史数据计算机台的风险相关参数，包括离线监控未通过率、晶圆受影响率、以及离线监控未命中率；基于所述风险相关参数计算机台的风险级别；以及基于所述风险级别与预定阈值的大小关系确定是否需要改变监控项目的数目和/或监控频率的大小。本发明所提供的用于机台监控的方法和系统将机台的风险相关参数与离线监控机制建立联系，能够实现离线监控的动态调整，使得既能在强势环节节约质量监控成本，又能在薄弱环节加以严格控制，防患于未然，实现质量监控成本最优化分配。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机台 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于机台监控的方法，其特征在于，所述方法包括：基于机台监控数据库中的历史数据计算机台的风险相关参数，包括离线监控未通过率、晶圆受影响率、以及离线监控未命中率；基于所述风险相关参数计算机台的风险级别；以及基于所述风险级别与预定阈值的大小关系确定是否需要改变监控项目的数目和/或监控频率的大小。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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