[发明专利]一种硅片切割用易分解型切削液的制备方法

摘要

一种硅片切割用易分解型切削液，涉及硅材料加工技术领域，由以下重量份的原料制成石蜡基油60‑80份、八角油6‑8份、桉树油3‑5份、硝酸钾5‑7份、硝酸钠2‑4份、三乙醇胺1‑3份、甘油2‑4份、聚乙二醇1‑3份、蓖麻油酸1‑3份、十二烷酸2‑4份、表面活性剂2‑4份、氢氧化钠1‑3份、硅酸钠2‑4份、链烷醇酰胺2‑4份、硼酸脂2‑4份、二氯甲烷6‑8份、三氯乙烯5‑7份、硅粉组合物8‑10份。本发明的有益效果是本发明选用的原料均为廉价易得的产品，制备出的切削废液，颜色透明，不遮挡切割视线，内部本身含有的分解组分，可以对切削液进行预先分解，不会强力的附着于硅片表面，解决的切削废液附着力强的问题，便于后续硅片的清洗，同时环保健康，便于推广及使用。

主权项

一种硅片切割用易分解型切削液，其特征在于，由以下原料制成：石蜡基油60‑80份、八角油6‑8份、桉树油3‑5份、硝酸钾5‑7份、硝酸钠2‑4份、三乙醇胺1‑3份、甘油2‑4份、聚乙二醇1‑3份、蓖麻油酸1‑3份、十二烷酸2‑4份、表面活性剂2‑4份、氢氧化钠1‑3份、硅酸钠2‑4份、链烷醇酰胺2‑4份、硼酸脂2‑4份、二氯甲烷6‑8份、三氯乙烯5‑7份、硅粉组合物8‑10份。