[发明专利]荧光可见的电生理微电极结构及其制作方法

摘要

本发明提供了一种荧光可见的电生理微电极结构及其制作方法。主要包括：绝缘毛细管体、绝缘微米针尖和荧光涂敷层；绝缘毛细管体为管状中空结构，一端与绝缘微米针尖相连，另外一端裸露在外；绝缘微米针尖为中空结构，与特定细胞进行吸附封接，与绝缘毛细管体共同形成毛细管内的电学通路；荧光涂敷层为薄膜结构，包裹在绝缘毛细管体和绝缘微米针尖上，荧光涂敷层具有荧光特性，形成电极的荧光标记。本发明利用了Parylene材料退火后良好的自发荧光特性，解决了电生理微电极的荧光观察问题，具有良好的化学稳定性，生物兼容性和荧光可见能力。通过微电子工艺加工的方式，其成本低廉，加工重复性好，形貌控制均匀，成品率高，可批量生产。

主权项

1.一种荧光可见的电生理微电极结构，其特征在于，包括：绝缘毛细管体、绝缘微米针尖和荧光涂敷层；所述绝缘毛细管体为管状中空结构，一端与所述绝缘微米针尖相连；另外一端裸露在外,用于与膜片钳微电极夹持器连接固定；所述绝缘微米针尖为中空开口结构，用于与特定细胞的细胞膜进行吸附封接，与所述绝缘毛细管体共同形成毛细管内的电学通路；所述荧光涂敷层为薄膜结构，保形包裹在所述绝缘毛细管体和所述绝缘微米针尖外部，并维持绝缘微米针尖的中空开口，所述荧光涂敷层在显微镜UV/blue，blue/green和green/red通道下均具有荧光特性，形成电极的荧光标记；所述绝缘毛细管体和所述绝缘微米针尖的材料为玻璃，所述荧光涂敷层的材料为退火后的聚对二甲苯Parylene。