[发明专利]一种堆叠式高温退火工艺

摘要

本发明公开了一种堆叠式高温退火工艺。它具体操作步骤如下：(1)将刻蚀后的硅片叠放整齐，放入退火用的石英片架中；(2)用石英盖板盖在石英片架的硅片上并压好硅片，将石英片架送入高温扩散/氧化炉中；(3)将高温扩散/氧化炉的炉管升温并稳定进行退火；(4)降温出炉：将高温扩散/氧化炉的炉管降温，出炉。本发明的有益效果是：堆叠后的硅片表面与空气隔离，有效的解决了热氧化工艺存在的问题，操作简单，耗费时间短，易于量产化，同时产量高，电池片效率提升幅度大，且可以有效的降低硅片在装、卸舟过程中出现的崩边、掉角、隐裂、碎片等问题，减少了装卸舟时间，提高了电池片的质量及合格率。

主权项

1.一种堆叠式高温退火工艺，其特征是，具体操作步骤如下：(1)将刻蚀后的硅片以100‑150片/叠的方式叠放整齐，放入退火用的石英片架中；(2)用石英盖板盖在石英片架的硅片上并压好硅片，将石英片架送入高温扩散/氧化炉中；(3)将高温扩散/氧化炉的炉管升温并稳定至在650‑850℃，进行退火，保温时间10‑30min，通入20000sccm的氮气；(4)降温出炉：将高温扩散/氧化炉的炉管降温至600‑700℃，保温时间600s，出炉；步骤(1)和步骤(2)中，所述的石英片架包括石英底板(1)、石英挡板(7)和若干石英细杆(3)，所述石英细杆(3)的一部分置于石英底板(1)的左右两侧边上，所述石英细杆(3)的另一部分置于石英挡板(7)上，所述的石英挡板(7)置于石英底板(1)的前后两侧边上。