[发明专利]硅片筛分流水线系统及筛分方法有效
| 申请号： | 201610704881.4 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106269549B | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈爵彬 | 申请（专利权）人： | 厦门佳元电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/10;B07C5/344;B07C5/36;H01L31/18;B07B1/28 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供本发明提供一种硅片筛分流水线系统，包括：振动式圆筛单元、流水线单元、视觉检测单元、电阻检测单元以及多个回收单元；所述振动式圆筛单元用于按照硅片的尺寸筛分出不同规格的硅片，并使硅片倾斜进入所述流水线单元；所述视觉检测单元设置在所述流水线单元的前端，用于检测倾斜设置的硅片的尺寸是否满足回收要求并获取所述倾斜设置的硅片的位置；所述电阻检测单元设置在所述流水线单元的中部，用于根据所述硅片的位置检测对应硅片的阻值；所述回收单元设置于所述流水线单元后端，用于根据硅片的阻值将硅片分流到不同的回收单元。本发明还提供一种硅片筛分方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 流水线单元 回收单元 电阻检测单元 视觉检测单元 流水线系统 倾斜设置 振动式 圆筛 位置检测 分流 回收 检测 | ||
【主权项】：
1.一种硅片筛分流水线系统，其特征在于，包括：振动式圆筛单元、流水线单元、视觉检测单元、电阻检测单元以及多个回收单元；所述振动式圆筛单元用于按照硅片的尺寸筛分出不同规格的硅片，并使硅片倾斜进入所述流水线单元；所述视觉检测单元设置在所述流水线单元的前端，用于检测倾斜设置的硅片的尺寸是否满足回收要求并获取所述倾斜设置的硅片的位置；所述电阻检测单元设置在所述流水线单元的中部，用于根据所述硅片的位置检测对应硅片的阻值；所述回收单元设置于所述流水线单元后端，用于根据硅片的阻值将硅片分流到不同的回收单元。
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