[发明专利]硅片筛分流水线系统及筛分方法

权利要求书

1.一种硅片筛分流水线系统，其特征在于，包括：振动式圆筛单元、流水线单元、视觉检测单元、电阻检测单元以及多个回收单元；所述振动式圆筛单元用于按照硅片的尺寸筛分出不同规格的硅片，并使硅片倾斜进入所述流水线单元；所述视觉检测单元设置在所述流水线单元的前端，用于检测倾斜设置的硅片的尺寸是否满足回收要求并获取所述倾斜设置的硅片的位置；所述电阻检测单元设置在所述流水线单元的中部，用于根据所述硅片的位置检测对应硅片的阻值；所述回收单元设置于所述流水线单元后端，用于根据硅片的阻值将硅片分流到不同的回收单元。

2.根据权利要求1所述的硅片筛分流水线系统，其特征在于，所述流水线单元包括环状传送带以及多个硅片检测台，所述硅片检测台设置于所述环状传送带的四周。

3.根据权利要求2所述的硅片筛分流水线系统，其特征在于，所述硅片检测台与水平面形成30°～80°的夹角。

4.根据权利要求1所述的硅片筛分流水线系统，其特征在于，所述视觉检测单元包括摄像机、图像处理器以及判断单元，所述摄像机用于获取所述硅片的图片，所述图像处理器用于根据所述图片获取硅片的尺寸以及位置信息，所述判断单元用于根据所述硅片的尺寸信息判断该硅片是否满足回收要求。

5.根据权利要求1所述的硅片筛分流水线系统，其特征在于，所述电阻检测单元为四探针电阻测试器。

6.根据权利要求1所述的硅片筛分流水线系统，其特征在于，所述回收单元包括吸盘式机械臂以及回收容器。

7.一种硅片筛分方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，将硅片倾斜设置，所述硅片与水平面形成30°～80°的夹角；

S2，获取步骤S1中硅片的图片，并根据所述图片获取所述硅片的位置信息以及尺寸信息；

S3，根据所述硅片的尺寸信息判断是否满足回收尺寸要求，是， 进入步骤S4，否，直接作为废品回收；

S4，获取满足回收尺寸要求的硅片的电阻值，并根据不同的电阻值对硅片进行分类回收。

8.根据权利要求7所述的硅片筛分方法，其特征在于，在步骤S1中，所述硅片与水平面形成60°～75°的夹角。

9.根据权利要求7所述的硅片筛分方法，其特征在于，在步骤S4中，通过四探针法获取满足回收尺寸要求的硅片的电阻值。

10.根据权利要求7所述的硅片筛分方法，其特征在于，在步骤S2中，通过摄像机获取步骤S1中硅片的图片。