[发明专利]缺陷隔离系统与检测电路缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种缺陷隔离系统以及一种检测电路缺陷的方法。其中一特征在于，利用可移动的第二探针扫瞄欲检测的检测线，并获取输出信号，以借此精确的找到缺陷部。本发明的另一特征在于，利用切割器，逐步将部分的检测线电性隔离，因此可以缩小检测范围的目的。本发明可以节省大量分析时间，并且适用于更小体积的器件检测。

主权项

1.一种检测电路中缺陷的方法，其至少包含以下步骤：步骤(a):提供检测线及位于其中的缺陷部；步骤(b):提供第一探针和第二探针，其中所述第一探针接触所述检测线的一端点以将输入信号提供至检测区域中的所述检测线，且所述第二探针接触所述检测线的另一端点以接收输出信号；步骤(c):使用切割器切割所述检测线以移除所述检测区域的所述检测线的区段且界定剩余检测线；步骤(d):移动所述第二探针以接触所述剩余检测线的端点，以得到新输出信号，其中当所述缺陷部位于所述剩余检测线之外时，所述新输出信号为位于由用户设置的预定范围内的正常信号，且当所述缺陷部位于所述剩余检测线之内时，所述新输出信号为位于由所述用户设置的所述预定范围之外的异常信号；以及步骤(e):重复所述步骤(c)与步骤(d)，直到所述新输出信号成为所述正常信号，以获得缺陷定位区段，其中所述缺陷定位区段具有位于其中的所述缺陷部。