[发明专利]一种真空室的真空度监测方法有效
| 申请号： | 201610675027.X | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN107768185B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 孙进;时振堂;杨彦冬;孟凡中;全伟;刘维功 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院 |
| 主分类号： | H01H33/668 | 分类号： | H01H33/668 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100728 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空室的真空度监测方法，所述真空室中预设有至少一个金属丝，该监测方法具体包括：将所述真空室中的至少一个金属丝分别接入到所述真空室外部的外接电路中；控制所述外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔分别对每个所述金属丝提供额定的功率；当检测到有金属丝断路时，则根据断路的金属丝判定所述真空室的真空度达到预设的阈值。本发明的方法针对在真空室中预设有金属丝的真空室，通过测定金属丝的熔断时间实现真空度的在线实时、直接监测，具有结构简单，使用方便，并且安全、经济、监测精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 监测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空室的真空度监测方法，其特征在于，所述真空室中预设有至少一个金属丝，该监测方法具体包括：/n将所述真空室中的至少一个金属丝分别接入到所述真空室外部的外接电路中；/n控制所述外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔分别对每个所述金属丝提供额定的功率；/n当检测到有金属丝断路时，则根据断路的金属丝判定所述真空室的真空度达到预设的阈值，所述预设的阈值与所述额定的功率相对应；/n当所述金属丝包括第一金属丝和第二金属丝时，所述控制外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔对每个所述金属丝提供额定的功率，具体包括：/n以预设的时间间隔对所述第一金属丝提供第一功率，对所述第二金属丝提供第二功率；/n并且当检测到所述第一金属丝断路时，判断所述真空室的真空度达到第一阈值，/n当检测到所述第二金属丝断路时，判断所述真空室的真空度达到第二阈值；/n当所述金属丝包括三个金属丝或更多的金属丝，根据不同金属丝在不同的额定功率下，在不同的真空度下的熔断，实现对真空度的不同梯度的监测。/n
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