[发明专利]一种真空室的真空度监测方法

权利要求书

1.一种真空室的真空度监测方法，其特征在于，所述真空室中预设有至少一个金属丝，该监测方法具体包括：

将所述真空室中的至少一个金属丝分别接入到所述真空室外部的外接电路中；

控制所述外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔分别对每个所述金属丝提供额定的功率；

当检测到有金属丝断路时，则根据断路的金属丝判定所述真空室的真空度达到预设的阈值，所述预设的阈值与所述额定的功率相对应；

当所述金属丝包括第一金属丝和第二金属丝时，所述控制外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔对每个所述金属丝提供额定的功率，具体包括：

以预设的时间间隔对所述第一金属丝提供第一功率，对所述第二金属丝提供第二功率；

并且当检测到所述第一金属丝断路时，判断所述真空室的真空度达到第一阈值，

当检测到所述第二金属丝断路时，判断所述真空室的真空度达到第二阈值；

当所述金属丝包括三个金属丝或更多的金属丝，根据不同金属丝在不同的额定功率下，在不同的真空度下的熔断，实现对真空度的不同梯度的监测。

2.根据权利要求1所述真空度监测方法，其特征在于，所述外接电路包括加热电路和监测电路，所述加热电路用于为每个所述金属丝提供额定的功率，所述监测电路用于检测所述每个金属丝通电后是否发生断路，并且在监测到有金属丝发生断路时发出相应的预警信号。

3.根据权利要求1所述真空度监测方法，其特征在于，所述方法还包括：

当判定所述真空室的真空度达到预设的阈值时，发出预警信号。

4.根据权利要求2所述真空度监测方法，其特征在于，所述外接电路还包括控制电路，所述控制电路用于控制所述加热电路接入到每个所述金属丝的时间以及所述加热电路为每个所述金属丝提供的功率。

5.根据权利要求2所述真空度监测方法，其特征在于，所述监测电路包括预警信号发生电路，所述预警信号发生电路用于发出预警信号。