[发明专利]一种真空室的真空度监测方法

说明书

本发明涉及一种真空室的真空度监测方法，所述真空室中预设有至少一个金属丝，该监测方法具体包括：将所述真空室中的至少一个金属丝分别接入到所述真空室外部的外接电路中；控制所述外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔分别对每个所述金属丝提供额定的功率；当检测到有金属丝断路时，则根据断路的金属丝判定所述真空室的真空度达到预设的阈值。本发明的方法针对在真空室中预设有金属丝的真空室，通过测定金属丝的熔断时间实现真空度的在线实时、直接监测，具有结构简单，使用方便，并且安全、经济、监测精度高的优点。

技术领域

本发明涉及真空度检测技术领域，具体地，涉及一种真空室的真空度监测方法。

背景技术

真空度是对气体稀薄程度的一种度量，可以由压强、分子数密度(单位体积内的气体分子数)、分子平均自由行程和一个单分子层的形成时间等概念来描述。在真空行业中，通常都用气体压强来表示真空度。气体压强越低，表示真空度越高，反之，压强越高，真空度就越低。

目前应用真空系统的真空设备很多，如真空断路器。而随着真空开关在中低压领域地得到了广泛应用，真空度的检测已经成为绝大多数真空断路器状态检修的重要内容之一，为了实现电流的分断和灭弧，真空灭弧室内的压强应该不高于1.33×10-2Pa，真空度的降低将直接影响真空断路器的开断性能。由于真空开关经过多年的使用，随着开断电流过程中触头材料产生气体的增多以及真空灭弧室本身微弱的泄漏会造成灭弧室内真空度的降低。

现有的对真空室的真空度在线检测方法包括采用旋转式电场探头的屏蔽罩电位法、光电变换法、耦合电容法、冷阴极磁控放电法等。耦合电容法是在真空室外设置屏蔽盒，通过监测屏蔽罩电位进而获得真空室内真空度，具有成本低、实现简单等优点。但是，在实际应用中，屏蔽罩电位会受到电网电压波动及环境温度变化等影响，导致所监测的真空度准确度低、可靠性差，仅能测量10pa数量级的真空度，无法满足对真空室的真空度高精度在线监测的要求。另外，现有的的真空度测试仪大多都是便携式单机设备，需要手动操作来完成检测过程，检测效率低，不适用于大批量、高效率的检测需求。

发明内容

基于上述问题，本发明提供一种真空室的真空度监测方法，通过在真空室中预先设置金属丝，并使用外接电路对金属丝施加额定的功率，通过监测金属丝是否熔断来监测真空室中的真空度，能够高效、实时地监测真空室的真空度。

为实现上述目的，本发明提供一种真空室的真空度监测方法，其特征在于，所述真空室的真空室中预设有至少一个金属丝，该监测方法具体包括：

将所述真空室中的至少一个金属丝分别接入到所述真空室外部的外接电路中；

控制所述外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔分别对每个所述金属丝提供额定的功率；

当检测到有金属丝断路时，则根据断路的金属丝判定所述真空室的真空度达到预设的阈值。

其中，所述外接电路包括加热电路和监测电路，所述加热电路用于为每个所述金属丝提供额定的功率，所述监测电路用于检测所述每个金属丝通电后是否发生断路，并且在监测到有金属丝发生断路时发出相应的预警信号。

其中，当所述金属丝包括第一金属丝和第二金属丝时，所述控制外接电路，使得所述外接电路以预设的时间间隔对每个所述金属丝提供额定的功率，具体包括：

以预设的时间间隔对所述第一金属丝提供第一功率，对所述第二金属丝提供第二功率；

并且当检测到所述第一金属丝断路时，判断所述真空室的真空度达到第一阈值，

当检测到所述第二金属丝断路时，判断所述真空室的真空度达到第二阈值。

其中，所述方法还包括：

当判定所述真空室的真空度达到预设的阈值时，发出预警信号。