[发明专利]具有键合至产酸剂的感光剂的新光刻胶有效
| 申请号： | 201610669564.3 | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN106527046B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 陈彦豪;王建惟 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻胶以及使用光刻胶实施光刻工艺的方法。光刻胶包括聚合物以及光生酸剂。光生酸剂包括感光剂组分、产酸剂组分和键合所述感光剂组分与所述产酸剂组分的键合组分。键合组分可为单键或共轭键。光刻工艺可为EUV光刻工艺或电子束光刻工艺。本发明涉及一种具有键合至产酸剂的感光剂的新光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 键合至产酸剂 感光剂 光刻 | ||
【主权项】：
一种光刻胶，包括聚合物；以及光生酸剂，包括：感光剂组分；产酸剂组分；以及键合组分，将所述感光剂组分键合至所述产酸剂组分。
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