[发明专利]一种制备高均匀性表面增强拉曼活性基底的方法有效
| 申请号： | 201610657600.4 | 申请日： | 2016-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN106353296B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张璋;曾志强;苏绍强;高兴森 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 任漱晨 |
| 地址： | 510631 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明实施例提供一种制备高均匀性表面增强拉曼活性基底的方法，所述方法包括：在有序铝纳米碗OAB阵列模板样品表面热蒸镀第一预设厚度的银薄膜；将所述OAB阵列模板样品放入原子层沉积腔中加热至250℃，使银薄膜固态脱湿以形成有序的银纳米球阵列；在所述原子层沉积腔中通入前驱体三甲基铝和水，在银纳米球颗粒表面沉积第二预设厚度的Al |
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| 搜索关键词： | 一种 制备 均匀 表面 增强 活性 基底 方法 | ||
【主权项】：
一种制备高均匀性表面增强拉曼活性基底的方法，其特征在于，所述方法包括：在有序铝纳米碗OAB阵列模板样品表面热蒸镀第一预设厚度的银薄膜；将所述OAB阵列模板样品放入原子层沉积腔中加热至250℃，使银薄膜固态脱湿以形成有序的银纳米球阵列；在所述原子层沉积腔中通入前驱体三甲基铝和水，在银纳米球颗粒表面沉积第二预设厚度的Al2O3薄膜，得到Ag‑Al2O3核壳纳米球阵列结构；将所述Ag‑Al2O3核壳纳米球阵列结构从所述原子层沉积腔中取出，在其表面再热蒸镀第三预设厚度的银薄膜，以形成有序Ag‑Al2O3‑Ag核壳纳米球阵列结构，从而作为表面拉曼增强活性基底，以检测探针分子的拉曼信号。
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