[发明专利]低频压电式MEMS振动能量采集器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610651624.9 | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106301071A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;侯诚;刘景全;李桂苗;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银,郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种低频压电式MEMS振动能量采集器及其制备方法，采集器包括硅固定基座、压电悬臂梁和质量块，所述压电悬臂梁包括金属薄膜基片，以及压电薄膜层和电极层；压电薄膜层通过环氧树脂粘附于金属薄膜基片上，在压电薄膜层表面溅射一层金属电极，得到电极层，从而实现压电薄膜层的电极层与金属薄膜基片机械串联。方法包括：一、制备金属薄膜基片；二、对压电陶瓷片单面抛光并在抛光面上溅射或蒸发电极层；三、通过键合和减薄，深硅刻蚀工艺得到压电悬臂梁；四、切割质量块并采用粘贴的方法使压电悬臂梁的悬空端粘贴质量块。本发明降低了器件的固有频率，提高了采能元件的能量利用率，且方法简单易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 低频 压电 mems 振动 能量 采集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种低频压电式MEMS振动能量采集器，其特征在于，包括：硅固定基座、压电悬臂梁和质量块，其中：所述压电悬臂梁的一端固定在所述硅固定基座上，所述压电悬臂梁的另一端悬空并与所述质量块固定连接；所述压电悬臂梁包括：金属薄膜基片，以及压电薄膜层和电极层；其中：压电薄膜层通过环氧树脂粘附于金属薄膜基片上，在压电薄膜层表面溅射一层金属电极，得到电极层，从而实现压电薄膜层的电极层与金属薄膜基片机械串联。
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