[发明专利]提高燃料电池金属双极板表面镀层致密和耐腐蚀的方法

摘要

本发明涉及提高燃料电池金属双极板表面镀层致密和耐腐蚀的方法，对镀设有镀层的金属极板进行处理，包括以下步骤：(1)利用稀有气体离子轰击改变镀层致密性及晶态结构；(2)利用贵金属粒子对镀层表面微小孔洞缺陷选择性沉积；(3)通入化学性质相对活泼的气体与初始镀层结合而降低表面能，完成对电池金属双极板表面镀层的处理。与现有技术相比，本发明进一步通过提高镀层的致密性提高燃料电池极板的耐腐蚀性能。

主权项

1.提高燃料电池金属双极板表面镀层致密和耐腐蚀的方法，其特征在于，该方法对镀设有镀层的金属极板进行处理，包括以下步骤：(1)利用稀有气体离子轰击改变镀层致密性及晶态结构，具体采用以下步骤：将镀设有镀层的金属极板置于离子源的炉腔中，通入稀有气体，控制流量为10sccm～200sccm，然后控制离子源电压为600V～3000V，炉腔温度升至60～300℃，控制炉腔的压力为5×10‑4～8×10‑3torr处理5min～200min；(2)利用贵金属粒子对镀层表面微小孔洞缺陷选择性沉积控制偏压为‑80～‑200V，炉腔的压力为5×10‑4～8×10‑3torr，氩气流量为10sccm～60sccm，贵金属靶材功率密度为3～30W/cm2，沉积时间为5～180s，所述的贵金属为金、银或铂族金属；(3)通入化学性质相对活泼的气体与初始镀层结合而降低表面能，完成对电池金属双极板表面镀层的处理，具体采用以下步骤：利用化学性质活泼的气体或其离化后的等离子体对表面进行氧化掺杂处理，控制气体流量为5sccm～30sccm，离子源电压控制为‑600V～‑2000V，沉积5min～200min，所述的化学性质相对活泼的气体为O2、H2、F2、CH4或SiH4。