[发明专利]功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品有效
| 申请号： | 201610643595.1 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN106244986B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 赵可沦;王永宁;彭继华;刘海华;宋鹏涛 | 申请（专利权）人： | 珠海罗西尼表业有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 万志香 |
| 地址： | 519015 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品。该功能梯度的类金刚石碳薄膜的制备方法包括：(1)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在工件表面沉积金属基底层；(2)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述金属基底层的表面沉积金属氮化物过渡层；(3)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述金属氮化物过渡层的表面沉积碳化钨梯度层；(4)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述碳化钨梯度层的表面沉积类金刚石碳装饰层。本发明提供的制备方法制得功能梯度的类金刚石碳薄膜不仅具有高光泽度、高界面结合强度、高表面硬度的优点，并且耐磨损、耐腐蚀、防刮花性能优良。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 梯度 金刚石 薄膜 及其 制备 方法 制品 | ||
【主权项】：
1.一种功能梯度的类金刚石碳薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在工件的表面沉积金属基底层；(2)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述金属基底层的表面沉积金属氮化物过渡层；沉积所述金属氮化物过渡层后，还包括所述金属氮化物过渡层的后处理步骤：所述后处理步骤在离子镀膜机中进行，所述离子镀膜机配置有空心阴极电子枪以及用于放置沉积有所述金属氮化物过渡层的工件的反应炉；所述后处理步骤的工艺条件如下：于所述反应炉中通入N2和/或Ar，并保持所述反应炉内真空度为2×10‑2～5×10‑2Pa；所述空心阴极电子枪的电流为120A～160A；对沉积有所述金属氮化物过渡层的工件施加的脉冲负偏压为‑200V～‑100V；所述后处理的时间为2min～10min，离子轰击的能量控制为1KeV～3KeV，并保持所述反应炉中的温度不超过300℃；(3)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述金属氮化物过渡层的表面沉积碳化钨梯度层；(4)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述碳化钨梯度层的表面沉积类金刚石碳装饰层。
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