[发明专利]功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品有效
| 申请号： | 201610643595.1 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN106244986B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 赵可沦;王永宁;彭继华;刘海华;宋鹏涛 | 申请（专利权）人： | 珠海罗西尼表业有限公司;华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/46;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 万志香 |
| 地址： | 519015 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 功能 梯度 金刚石 薄膜 及其 制备 方法 制品 | ||
【权利要求书】：
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