[发明专利]一种均匀兆声作用的基片处理压电换能器有效
| 申请号： | 201610625212.8 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106067512B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 翟科;何勍;任奕 | 申请（专利权）人： | 辽宁工业大学 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047 |
| 代理公司： | 锦州恒大专利事务所 21222 | 代理人： | 陈明 |
| 地址： | 121001 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种均匀兆声作用的基片处理压电换能器，它包括压电陶瓷基体及压电陶瓷基体表面电极，其特殊之处是，所述的压电陶瓷基体表面电极为多电极分区，分区后各电极区间各自独立或各电极互连，各电极之间的间隔距离小于压电陶瓷基体厚度，且各分区电极主体面积基本一致；本发明通过在兆声波换能器压电陶瓷基体表面设置多电极分区的形式，使换能器辐射声波实现辐射振幅及声场的均匀。能够有效地减少或消除片型压电陶瓷径向振动对厚度振动的耦合干扰，在换能器与晶片或待处理基片与处理液层之间的流体层内形成均匀声场，由此达到均匀处理基片的效果，避免在兆声波处理基片工艺中产生的晶片表面损伤或表面处理效果不一致的情况，具有很强的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 作用 处理 压电 换能器 | ||
【主权项】：
1.一种均匀兆声作用的基片处理压电换能器，它包括压电陶瓷基体及压电陶瓷基体表面电极，其特征在于，所述的压电陶瓷基体表面电极为多电极分区，分区后各电极区间各自独立或各电极互连，各电极之间的间隔距离小于压电陶瓷基体厚度，且各分区电极主体面积基本一致。
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