[发明专利]一种HVPE设备用镓舟反应器

摘要

一种HVPE设备用镓舟反应器，包括进气管、圆筒形侧壁、底部和顶盖，所述底部与圆筒形侧壁连接成一个容器；所述顶盖连接于圆筒形侧壁上；所述进气管穿设于顶盖或圆筒形侧壁上；所述容器上设有出气管；所述进气管包括进气连接管和螺旋喷管，所述螺旋喷管包括螺旋喷管入口、螺旋喷管管壁和螺旋喷管出口，所述进气管与螺旋喷管入口连接，所述螺旋喷管位于容器内。本发明提供的一种HVPE设备用镓舟反应器，可增加反应气体在反应器内的停留时间，也能均衡反应气体与金属镓的反应速度。

主权项

1.一种HVPE设备用镓舟反应器，包括进气管（1）、圆筒形侧壁（2）、底部（3）和顶盖（4），所述底部（3）与圆筒形侧壁（2）连接成一个容器；所述顶盖（4）连接于圆筒形侧壁（2）上；所述进气管（1）穿设于顶盖（4）或圆筒形侧壁（2）上；所述容器上设有出气管（5）；所述进气管（1）包括进气连接管（11）和螺旋喷管（12），所述进气连接管（11）与容器连接，所述进气连接管（11）与螺旋喷管入口（121）连接，所述螺旋喷管（12）包括螺旋喷管入口（121）、螺旋喷管管壁（122）和螺旋喷管出口（124），所述螺旋喷管（12）位于容器内；所述螺旋喷管（12）沿容器内壁圆周方向向下倾斜延伸，并且该螺旋喷管出口（124）位于容器底面上方；所述螺旋喷管出口（124）直径小于螺旋喷管入口（121）直径；其特征在于，所述螺旋喷管管壁（122）上设有由螺旋喷管入口（121）朝向螺旋喷管出口（124）倾斜的螺旋喷管吸附入口（123），并且该螺旋喷管吸附入口（123）方向与螺旋喷管入口（121）方向形成的夹角为锐角。