[发明专利]用于检查样本材料的微腔有效
| 申请号： | 201610610133.X | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN106409640B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | L.梅勒;P.多纳;G.N.A.范维恩 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁;傅永霄 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 样本 材料 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查样本材料的微腔，填充所述微腔的所述样本材料浸入在液体中，所述微腔包含：用于盛装所述样本材料的检查体积，所述检查体积由以下限定：第一刚性层，与所述第一刚性层间隔开的第二刚性层，以及在所述第一刚性层和所述第二刚性层之间的气密密封，其中，在用带有浸入的样本材料的液体填充所述检查体积之前， 所述第一刚性层和所述第二刚性层中的至少一个的薄部将所述检查体积与外面隔离，所述薄部配备成被刺破，以及 所述检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，被放置在所述薄部上，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。
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