[发明专利]一种气浴装置及控制方法和应用有效
| 申请号： | 201610608676.8 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107664263B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 郎东春;杨志斌 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气浴装置及控制方法和应用，该装置包括供气装置、冷却水供水装置和气浴末端装置，供气装置和气浴末端装置之间设有压力调节装置，冷却水供水装置与气浴末端装置之间设有温度调节装置，气浴末端装置内设有气路通道和水路通道，气路通道的入口与压力调节装置连接，气路通道的气路出口靠近水路通道并与气浴末端装置的工作面连通；水路通道的入口与温度调节装置的出口连接，水路通道的出口与冷却水供水装置的入口连接，气路通道和水路通道的孔径均小于0.1mm。本发明通过压力调节装置和温度调节装置实现闭环控制，通过微流道形式的气路通道和水路通道，且在气浴末端装置内进行热交换，提高了气浴的温度、压力的均匀性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 末端装置 水路通道 气路通道 冷却水供水装置 温度调节装置 压力调节装置 供气装置 热交换 闭环控制 出口连接 气路出口 入口连接 均匀性 微流道 连通 应用 出口 | ||
【主权项】：
1.一种气浴装置，包括供气装置、冷却水供水装置和气浴末端装置，其特征在于，所述供气装置和气浴末端装置之间设有压力调节装置，所述冷却水供水装置与所述气浴末端装置之间设有温度调节装置，所述气浴末端装置内设有气路通道和水路通道，所述气路通道的入口与所述压力调节装置连接，气路通道的气路出口靠近所述水路通道并与所述气浴末端装置的工作面连通；所述水路通道的入口与所述温度调节装置的出口连接，水路通道的出口与所述冷却水供水装置的入口连接，所述气路通道和所述水路通道的孔径均小于0.1mm。
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