[发明专利]太阳能组件封装用层压机真空系统在线校准装置及其方法在审
| 申请号： | 201610596615.4 | 申请日： | 2016-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106128971A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王丹;闫萍;李龙云 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司;天合光能（常州）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 郭小丽 |
| 地址： | 213031 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能组件封装用层压机真空系统在线校准装置，用于在线检测太阳能组件封装用层压机的热偶真空计的准确度，包括：用于校准的标准器以及显示标准器数值的第一显示器，显示热偶真空计数值的第二显示器，标准器与第一显示器，以及，热偶真空计与第二显示器之间分别通过数据传输信号线连接，其特征在于：还包括一个具有三个通道的三叉工装，所述标准器、热偶真空计分别连接三叉工装的两个端口上，三叉工装的另一个端口连接层压机的真空管道。同时，本发明还公开了一种太阳能组件封装用层压机真空系统在线校准方法。本发明测试准确度高，操作简单快捷，安全可靠，利于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 组件 封装 层压 真空 系统 在线 校准 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能组件封装用层压机真空系统在线校准装置，用于在线检测太阳能组件封装用层压机的热偶真空计（1）的准确度，包括：用于校准的标准器（2）以及显示标准器数值的第一显示器（3），显示热偶真空计（1）数值的第二显示器（4），标准器（2）与第一显示器（3），以及，热偶真空计（1）与第二显示器（4）之间分别通过数据传输信号线（5）连接，其特征在于：还包括一个具有三个通道的三叉工装（6），所述标准器（2）、热偶真空计（1）分别连接三叉工装（6）的两个端口上，三叉工装（6）的另一个端口连接层压机的真空管道（7）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
